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Revêtement d'évaporation thermique de pulvérisation magnétron de laboratoire
Coater pour les sciences géologiques et les couches minces
Introduction
L'unité de pulvérisation ionique magnétron et le revêtement de carbone à évaporation thermique sont idéaux et conçus pour la préparation d'échantillons SEM en laboratoire. Le modèle SD900C (unité de pulvérisation ionique magnétron) est largement utilisé pour revêtir des échantillons SEM non conducteurs ou sensibles à la chaleur avec Au pour une meilleure imagerie. Il est également excellent pour le traitement de surface et évite d'endommager l'échantillon de substrat.
Le revêtement de carbone modèle SD900C (Thermal Evaporation Carbon Unit) applique un mince film de carbone conducteur sur une surface d'échantillon. L'application de ce revêtement à un échantillon non conducteur est une technique de préparation efficace pour diminuer les artefacts d'électrons de charge pour l'analyse dans un SEM.
La pression de vide de travail peut être obtenue rapidement en utilisant une pompe à vide appropriée en 5 minutes. Il est convivial et facile à utiliser.
La pompe à vide est incluse.
Le refroidisseur est facultatif. (pour l'unité de pulvérisation ionique magnétron)
Paramètre
| Ensemble de pompe à vide |
( Huile requise ) P ompe à vide rotative |
| Vitesse de pompage rotatif _ |
50 Hz : 8 m³ / h ( 2 , 2 L/s)/ 60 Hz : 9, 6 m³ /h ( 2 , 6 L/s) |
| Limite de vide |
2 Pa |
| Courant de pulvérisation maximum |
100mA |
| Courant d'évaporation max
|
100A |
| Pression de travail |
20 Pa - 8 Pa |
| Temps d' aspiration |
<5 minutes ( 2 Pa) |
| Mesure du vide |
Plage de mesure de l'atmosphère à 2*10 -2 mbar |
| Contrôle du gaz |
Contrôleur de débit de gaz |
| Taille de la chambre |
Φ 15 0 * 12 0 mm (hauteur) verre de quartz résistant aux rayures |
| Source cible de magnétron _ |
Taille cible φ 50* 0,1 mm( A u)/ t source cible : Au, Ag, Pt |
| Source cible d' évaporation |
Matériau cible : corde en carbone/source cible : corde en carbone |
| Méthode de fonctionnement |
Manuel d' instructions |
| (2 unités) Poids / taille |
55 kg/ 36 0 mm de longueur x 30 0 mm de largeur x 38 0 mm de hauteur |
| Alimentation électrique _ |
CA 110V 60Hz ou CA 220V 50Hz |
| Consommation électrique _ |
< 20 00W |
| Méthode de refroidissement |
Refroidissement par air (évaporation) + refroidissement par eau (pulvérisation) |
| garantie |
Garantie limitée d'un an avec support produit à vie |
IPv6 réseau pris en charge 