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Four PECVD Lab 1200C avec tube de quartz et système de vide
Présentation de l' équipement : Cet équipement ionise un gaz contenant un atome constituant un film par radiofréquence, etc., et forme localement un plasma. Le plasma est chimiquement actif et réagit facilement, et un film souhaité est déposé sur le substrat. Afin de permettre à la réaction chimique de se dérouler à une température plus basse, l'activité du plasma est utilisée pour favoriser la réaction, et ainsi le CVD est appelé dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD).
Description du produit: Cet équipement est un système PECVD à zone de température fixe, qui comprend un four tubulaire à deux zones de température D 6 0x1 0 00L mm , une source d'alimentation plasma RF de 500 W, un système d'alimentation en air à débit massique à 3 canaux et une unité de vide.
Les principaux composants du système et les fonctionnalités :
L'équipement est principalement composé d'un corps de four de chauffage tubulaire, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz à flux de protons, d'une source de plasma radiofréquence, d'une chambre de réaction en quartz, etc.
Caractéristique principale :
1. Le gaz dans la chambre à vide en quartz est transformé en un état ionique par une source d'alimentation à radiofréquence.
2. La température nécessaire au PECVD pour effectuer le dépôt chimique en phase vapeur est inférieure à celle du CVD ordinaire.
3. La contrainte du film déposé peut être contrôlée par la fréquence de la source d'alimentation RF.
4. Le PECVD a un taux de dépôt chimique en phase vapeur, une uniformité, une cohérence et une stabilité plus élevés que le CVD ordinaire.
5. Largement utilisé : l'équipement peut déposer du SiOx, du SiNx, du silicium amorphe, du silicium microcristallin, du nano-silicium, du SiC, des films de type diamant et autres sur la surface d'une feuille ou d'échantillons de forme similaire, et peut déposer des films de type p, n- type dopage Film divers. Le film déposé a une bonne uniformité, compacité, adhérence et isolation. Largement utilisé dans les outils de coupe, les moules de haute précision, les revêtements durs, la décoration haut de gamme et d'autres domaines.
| Paramètres techniques PECVD |
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Température max. ： |
1 2 00C |
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| Température de travail : |
≤1 1 00C |
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| Matériau du tube ： |
Tube de quartz |
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| Taille du tube ： |
Diamètre ：6 0mm, longueur de la zone de chauffage : 35 0 mm |
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| Tension : |
220V/50HZ / 3KW |
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| Élément chauffant : |
Fil de résistance |
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| Thermocouple ： |
Type K |
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| Précision de la température : |
±1℃ |
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| Taux de chauffage : |
≤ 1 0℃/min |
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| Contrôle de température ： |
Contrôle PID et réglage automatique, contrôle programmable intelligent à 30 segments, avec fonction d'alarme de surchauffe et de rupture |
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Débitmètre à protons |
1. Trois stations de mélange de gaz à débit massique contrôlé (MFC) 2. Équipé en interne d'un débitmètre massique à affichage numérique de haute précision pour un contrôle précis du débit de gaz
3. La plage de débit de gaz est de 0 à 500 SCCm avec une erreur de 0,02 %
4. Manomètre à vide de sortie, système de mélange de gaz intégré,
5. Compteur de vanne à pointeau en acier inoxydable, joint à double virole standard |
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Alimentation plasma RF |
Puissance de sortie : 5-500W ±1°C Fréquence RF : 13,56 MHz ±0,005 % Puissance réfléchie : jusqu'à 100W Correspondance : Automatique Interface RF : 50Ω, type N Refroidissement : refroidissement par air alimentation : CA 208-240V, 50/60HZ |
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Système de vide |
Ensemble de pompes moléculaires à vide poussé : unité de pompe à diffusion Degré de vide jusqu'à : 10-1Pa--10-3Pa Connexion rapide KF25, soufflet en acier inoxydable, clapet à clapet manuel et bride, pompe à vide |
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| garantie |
Période de garantie d'un an, maintenance à vie (à l'exclusion des consommables associés, tels que les tubes de four, les joints, etc.) |
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| Certificats : CE , ISO et UL |
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| Accessoires de paquet standard : |
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| Four électrique |
1 jeu |
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| Gants haute température |
1 paire |
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| Crochet de creuset |
1 pc |
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| Tube de quartz |
1 PCS |
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| Bride en acier inoxydable |
1 jeu |
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| Bouchon de tube |
2 pièces |
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| Tuyau d'air de 10 mm |
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| Manuel de l'Utilisateur |
1 livre |
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| Pompe à vide |
1 ensemble |
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