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Revêtement de pulvérisation ionique magnétron DC ou RF sous vide poussé de laboratoire
Coucheuse
Introduction
Le revêtement par pulvérisation ionique magnétron sous vide poussé est idéal et conçu pour la science des matériaux et la préparation d'échantillons. Il est largement utilisé par la majorité des universités et des instituts de recherche scientifique en science et ingénierie des matériaux pour revêtir, pour les métaux, les céramiques, les semi-conducteurs, les isolants ou d'autres types de préparation de matériaux membranaires.
La coucheuse de pulvérisation ionique magnétron sous vide poussé fournit l'environnement de pulvérisation le plus stable et atteint les conditions expérimentales de base de la pulvérisation magnétron en très peu de temps. Il fournit deux types d'options de puissance de pulvérisation CC / RF qui permettent de pulvériser une substance conductrice ou non conductrice sur l'échantillon et améliorent les performances de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il est également excellent pour le traitement de surface et le revêtement. Il est également facile à utiliser et convivial.
La pompe à vide et le refroidisseur sont inclus.
Paramètre
| Ensemble de pompe à vide |
( Huile requise) P ompe à vide rotative + ( sans huile) ensemble de pompe t urbo m oléculan |
| Vitesse de pompage rotatif _ |
50 Hz : 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz : 19,2 m³ /h (5,2 L/s) |
| Vitesse de pompage moléculaire _ |
300 L/ s |
| Limite de vide |
5x10 -5 Pa |
| Pression de travail |
0,5-5 Pa |
| Temps d' aspiration |
>10 Min(10 -3 Pa) |
| Mesure du vide |
Plage de mesure de l'atmosphère à 1*10 Pa |
| Contrôle du gaz |
Contrôleur de débit de gaz |
| Taille de la chambre |
φ260 * 200mm (hauteur) métal |
| Source cible de magnétron _ |
Taille cible φ 50 *3mm(Cu)/ source cible : m atériaux / substance magnétique faibles |
| Méthode de fonctionnement |
Manuel d' instructions |
| Poids / taille |
100 kg/610 mm de longueur x 420 mm de largeur x 490 mm de hauteur |
| Alimentation électrique _ |
CA 110V 60Hz ou CA 220V 50Hz |
| Consommation électrique _ |
<3000W |
| Méthode de refroidissement |
Refroidissement par air ( pompe ) + refroidissement par eau ( cible de pulvérisation ) |
| garantie |
Garantie limitée d'un an avec support produit à vie |
IPv6 réseau pris en charge 