Tél : +86-592-3926659
E-mail : gilia@inthelaboratory.com
Revêtement de revêtement par pulvérisation ionique magnétron sous vide pour
Semi-conducteurs et batterie
Introduction
Le magnétron Ion Sputtering Coater (modèle SD900M) est idéal et conçu pour la préparation d'échantillons SEM en laboratoire. Il est largement utilisé pour revêtir des échantillons SEM non conducteurs ou sensibles à la chaleur avec Au pour une meilleure imagerie. Il est également excellent pour le traitement de surface et évite d'endommager l'échantillon de substrat.
Exemple d'image de résultat de revêtement sous SEM (par modèle SD-900M) EPTFE (Poly Tetra Fluoro Ethylene étendu)
Faible vide, peut être atteint rapidement en utilisant une pompe à vide appropriée dans les 5 minutes. Il génère beaucoup moins de chaleur et évite que le plasma n'endommage l'échantillon de substrat. Il est convivial et facile à utiliser.
La pompe à vide est incluse. Le refroidisseur est facultatif.
Paramètre
| Ensemble de pompe à vide |
( Huile requise ) P ompe à vide rotative |
| Vitesse de pompage rotatif _ |
50 Hz : 8 m³ / h ( 2 , 2 L/s)/ 60 Hz : 9, 6 m³ /h ( 2 , 6 L/s) |
| Limite de vide |
2 Pa |
| Courant de pulvérisation maximum |
100mA |
| Pression de travail |
20 Pa - 8 Pa |
| Passer l'aspirateur sur moi |
<5 minutes ( 2 Pa) |
| Mesure du vide |
Plage de mesure de l'atmosphère à 2*10 -2 mbar |
| Taille de la chambre |
Φ 15 0 * 12 0 mm (hauteur) verre de quartz résistant aux rayures |
| Source cible de magnétron _ |
Taille cible φ50 *0.1mm(Au) / t source cible : Au,Ag,Pt |
| Méthode de fonctionnement |
Manuel d' instructions |
| Poids / taille |
45 kg/ 36 0 mm de longueur x 30 0 mm de largeur x 38 0 mm de hauteur |
| Alimentation électrique _ |
CA 110V 60Hz ou CA 220V 50Hz |
| Consommation électrique _ |
< 15 00W |
| Méthode de refroidissement |
Refroidissement par eau (facultatif) |
| garantie |
Garantie limitée d'un an avec assistance produit à vie |
IPv6 réseau pris en charge 